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cmp抛光液
针对 led 蓝宝石衬底精研磨工序使用的金刚石研磨液，在研磨过程中磨料颗粒采用单颗粒多点研磨，不仅保证了持续高效的研磨效果，同时，精密分级后的磨料金刚石不含异常大颗粒且整体分散均匀，也保障了不会对加工件表面造成损伤。
内部磨料微观分布
◆ 使用工艺参数参考：
1、设备机台：国内外各种单面研磨机；
2、加压方式：气动或载重加压；
3、配套研磨盘：铜盘，锡盘；
4、研磨盘转速：40-60rpm
5、衬底片承压：0.3-0.4kg/cm2
6、加液方式：间隔喷洒或者滴加
7、使用效果：仅供参考，可根据具体设备及工艺调配合适产品。
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规格型号 |
制作工艺 |
设备参考 |
mrr(μm/min) |
实现粗糙度ra(nm) |
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pc-6 |
外延背面减薄 |
nts/wec/shuwa |
2.0～3.0 |
≤30 |
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pc-3 |
基片正面mdp |
speedfam/kemet/am |
0.8～1.2 |
≤15 |
◆ zzsm 产品优势
1、产品特性：我公司的研磨液产品，磨料分散更均匀，悬浮性更强，放置后不会出现磨料沉积底部，难以晃匀的现象，保证研磨过程更均匀；
2、产品稳定性：产品的原材料、生产过程和发货前经过7 道检验，研究所规范化的操作模式保证产品品质一致性；
3、产品经营：公司自己的生产车间，免去其他中间商供货的步骤，可以随时跟踪和监控产品生产及使用过程，工程师可随时现场服务；
4、公司资质：我所是全国唯一的国家级磨料磨具行业研发中心，产品开发和销售